液体フローメーター 「SLQ-QT500」
多目的液体フローメーター 最大120ml /min 高粘度対応
液体フローメーター「SLQ-QT500」は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れています。SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しいコーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび液体フローシステムに容易に組み込むことができます。
液体フローメーター「SLQ-QT500」の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と制御に新たな付加価値を提供します。 センサーには、水およびイソプロパノール(IPA)の校正値が格納されています。熱式測定の原理と大きな配管内径のため、液体フローメーター「SLQ-QT500」の測定性能は粘度そのものに左右されないため、厳密な粘度の上限または下限の制限はありません(例えば、動粘度1000mm2/sまで可能)。さらに、石英ガラス管を研磨しない限り、小さな粒子を含む液体の測定にも最適です。
接液部には、継手にPFAと内部流路に石英ガラスが使用されています。当社の全ての液体フローメーターと同様に、この信頼性の高い製品のセンサー内部の流路は直線経路で、可動部品が一切ありません。
液体フローメーター「SLQ-QT500」は、下記SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて、あらゆる環境に適した電気的インターフェースを備えたモジュール式ソリューションを提供します。
- SCC1-USBセンサーケーブルは、当社のビューワーソフトウェアを実行させるPCとのプラグ・アンド・プレイ接続を提供します。
- SCC1-RS485センサーケーブルは、安定したRS485インターフェースを備え、ディスペンスボリュームトータライザ、自動ディスペンス検出、非同期読み出し用のデータバッファなどの高度な機能を備えた、要求の厳しい産業機器向けに設計されています。
- SCC1-Analogセンサーケーブルは、プログラミング不要でシンプルで迅速な読み取りまたは汎用コントローラーシステムへの組み込みを可能にします。0~10 Vのアナログ電圧出力に加えて、ケーブルはフロースイッチまたはパルス出力として機能できるプログラム可能なデジタル(高/低)出力を備えています。
特長
- 最大流量(炭化水素系及び水系): 120 ml/min
- 応答速度: < 50 ms
- 出力: RS485、USB あるいは 0 ~ 10 V アナログ電圧
- 接液部材: PFA、石英ガラス
- 最大動作圧力: 12 bar
- 高、低粘度液体及び小粒子を含む液体に対応
- 直線流体経路、可動部品なし
- 高純度対応
- 耐薬品性、不活性材質採用
用途
- ハイエンド半導体プロセス制御
- 高粘度アプリケーション
- 産業機器
- 高速投薬機器
粘度に関する話
液体の粘度は、その「厚さ」または外力に対する抵抗を表します。低粘度の液体には、エーテル、アセトン、ガソリン、および水(動粘度≤1.0mm2/s)などがあります。代表的な中粘度の液体には、エンジン油、植物油、プロピレングリコールおよびフォトレジストなどがあります。一般的に高粘度液体と言えば、グリース、ハチミツ、高粘度フォトレジスト、および接着剤等が挙げられます。また一般的に液体の粘度はその温度に強く依存します。液体フローメーター「SLQ-QT500」の測定性能は粘度自体には依存しませんが、センサーの信号はセンサーチューブ内の流量分布に依存し、流量分布は粘度に依存します。低粘度側では、流入条件(例えば、配管径の変化、入口付近での曲がりなど)および乱流などの流体効果によって流量が制限されます。高粘度側では、流量がシステム内の許容可能な圧力降下によって制限されます。これらの制限はアプリケーションに大きく依存します。
お客様の高粘度液体のアプリケーションについてのご相談は、専門家にお問い合わせください。
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