フローセンサー
マスフローメーター「SFM4300」
小型のセンサーは、空気、O2、N2Oの気体に合わせて校正されており、前シリーズのマスフローメーター「SFM4100」とは対照的に混合ガスのモニターにも使用できます。最大20 slmの全範囲で0.005 slmのゼロ点精密度を備えた「SFM4300」を使用すれば、幅広い種類の混合ガスの濃度を高い精度で調整できます。センサーユニットにはI²Cインターフェースが搭載されており、完全校正済みの温度補償された出力信号を生成します。このマスフローセンサーは、医療産業両分野での混合ガス、燃料電池、その他のOEM用途に使用できます。
フローセンサー
当社は、ガスおよび液体の流量測定用フローセンサーソリューションのリーディングカンパニーです。フローセンサーは医療分野、ビルディング分野、産業機器分野およびスマートエナジー分野等で世界的に使用されています。当社が築いたリーディングカンパニーの地位の基となっているのは、センサー部分と信号処理回路をひとつの半導体チップに一体化させる当社CMOSens®技術です。
製品ハイライト
製品情報
当社のマスフローメーターは、広いダイナミックレンジに加え、高速、高精度、ガス流量の経済的な測定を可能にします。全てのマスフローメーターの心臓部は、MEMSに基づいた熱式マイクロセンサーで、熱式測定の原理によりガス流量を測定します。センサー素子は1つのシングルチップ上に完全な信号処理回路と統合されています。この特有な統合技術でのアプローチは、比類のない革新的なCMOSens®技術によって、優れた性能と魅力的なコストを実現しました。
当社のマスフローコントローラーは、広いダイナミックレンジにわたってガス流量を高速かつ正確に制御することを特長としています。革新的なCMOSens®技術を用いたこれらのマスフローコントローラーの心臓部は、シングルチップ上で信号処理回路と一体化されているカロリメトリックマイクロセンサー(MEMS)です。流量を熱測定の原理を用いて測定しながら、アナログ制御回路が効率的な制御を行います。この独自の集積技術によるアプローチは非常に魅力的なコストで優れた性能と信頼性をもたらします。
当社のガスメーターモジュールは、リアルタイムに信頼性高く、ガス消費をモニターします。このデジタルセンサーは温度補償し、圧力非依存性で、長期安定性を持っています。この製品は、ガスメーターに簡単に搭載できるようコンパクトデザインになっています。完全なデザイン・イン・ソリューションとして、当社がスマートガスメーターの開発の為の手厚いサポートを提供します。
当社の液体フローメーターは、どこでも微小流量の監視、液体ハンドリングや液体分注できる新しいスタンダードを確立しました。当社のユニークなCMOSens®技術は、1桁のnl/minから100ml/minまでの範囲を流路の壁の外側から(非接触で)双方向で液体を測定することを可能にしました。実際のアプリケーションである医療機器、検体装置や産業機器などで当社の高信頼で安全なセンサー・ソリューションによるメリットを提供します。
当社の微差圧センサーは、特に超微小差圧領域で長期安定性に優れ、信頼性が高く、高速で測定します。スペースが限られている場合や費用対効果性が高く求められるデザインにおいて、理想的なソリューションです(例: 医療やHVAC用途)。ぞれぞれの微差圧センサーは、個別に温度補償および校正されています。
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