マスフローメーター 「SFM5400」
多用途のマスフローメーター
マスフローメーター「SFM5400」は高精度(誤差<1%)、長期安定性と高い繰り返し精度、また広いダイナミックレンジを備えています。マスフローメーター「SFM5400」は金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し50sccmから200slmまでの測定が可能です。「SFM5400」センサー信号はデジタル化され、完全な校正と温度補償が施されます。多様なガス校正は各デバイスに記憶され、測定しようとしているガスがマスフローメーターに校正されているガスと適合するか確認することができます。マスフローメーター「SFM5400」は産業向け医療向けアプリケーションに理想的なソリューションです。
高性能なマスフローメーター「SFM5400」は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。
マスフローメーター「SFM5400」はマスフローコントローラー「SFC5400」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5400」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。
※ マスフローコントローラー「SFC5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。
特長
- 小流量 (< 1 sccm) で高い精度
- 優れた精度/繰返し精度 (測定値に対してそれぞれ 0.8 % / 0.1 %)
- 広いダイナミックレンジ (ターンダウン比 1000:1)
- 多様なガス種への対応とガス認識
- デジタル(I2C)とアナログインターフェース
- 継手オプション: ダウンマウント、VCRとVCO、スウェジロック
- Cシール、Wシール等
用途
関連製品
