マスフローコントローラー 「SFC5300」
量産向け小型コスト重視のコントローラー
マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御します。これは、コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定可能です。「SFC5300」の本体ボディーは金属製です。マスフローコントローラー「SFC5300」の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには2つのデジタルインターフェイスを用意しています。マスフローコントローラー「SFC5300」は、マスフローコントローラー「SFC5400」の小型版で、コスト重視の量産OEMプロジェクト向けです。
マスフローコントローラー「SFC5300」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。
マスフローコントローラー「SFC5300」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5300」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。
※マスフローメーター「SFM5300」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。
所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。カスタムソリューションの詳細についてはこちらを確認ください。
特長
- 最低流量 (< 1 sccm) で高い精度
- 優れた長期安定性と信頼性
- 広いダイナミックレンジ (ターンダウン比 1000:1)
- マルチガス機能
- CMOSens®技術による魅力的な価格性能比
- コンパクトサイズ
用途
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