CMOSens®技術による液体流量測定

これまで30年以上にわたり、マスフロー測定の業界標準となってきた方式はスチール管流路の周囲にコイルを巻いた熱式マスフロー測定方式でした。

CMOSens^®技術は、この基本的な熱式測定の原理を基に高速、小型化されたセンサー素子と信号処理回路を1つのCMOSチップ上に集積したものです。マイクロチップ上にあるヒーター素子は、測定対象の媒体に最小量の熱を加えます。そして、熱源となるヒーターの前後に配置された温度センサーがわずかな温度差を検知し、周辺の熱分布の変化を流量に換算します。微弱なアナログセンサー信号を高精度に増幅、デジタル化し、さらに加工することができるのは、これらをシングルチップに集積しているおかげです。半導体技術を用いることにより、小型化、バッテリー駆動が可能となります。

デジタル信号処理は、内蔵されている校正データと共に測定値の0.6%以下の測定再現性を実現し、最大1KHｚのサンプリングレートの速さで線形出力、校正、温度補償された流量測定信号を出力します。

CMOSens^®技術は、液体の極小流量測定も可能です。この新たな原理で開発されたセンサーは、高速度測定、小型軽量化、かつ大量生産が可能です。流量測定は数ml/min、さらにはnlレベルまでの極小範囲の正確な測定が問題なく行えます。