Massenflussregler

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Unsere Massenflussregler bieten präzise und wiederholbare Messungen sowie Regelungen des Massendurchflusses über einen breiten Messbereich. Sie sind vielseitig und hochgradig konfigurierbar und für verschiedene Durchflussbereiche, Fluidanschlüsse und Schnittstellen erhältlich. Die Massenflussregler von Sensirion eignen sich für verschiedene Anwendungen bei denen Genauigkeit und Zuverlässigkeit von entscheidender Bedeutung sind. Dazu gehört der Einsatz in der industriellen Automatisierung, Prozesssteuerung und Medizintechnik. Mit ihrer bewährten Leistungsfähigkeit und ihrer gleichbleibenden Qualität bieten unsere Massenflusssensoren zuverlässige Lösungen für eine genaue Durchflussregelung in anspruchsvollen Umgebungen. Entdecke unser Portfolio an Massenflussreglern und finde die passende Konfiguration für deine Anwendung.

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    • SHT7x

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    • SHTCx

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    • SLF3x

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      0

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  • Klasse

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      1

    • Sensor

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      3

    • Analog current

      1

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      0

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      0

    • ModBus

      0
SFC6000-OEM

SFC6000-OEM

Bestes Preis-/Leistungsverhältnis, individualisierbare Version

Skalenendwert Durchflussrate
2, 5, 20 and 50 slm
Genauigkeit
0.2% FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Push-in 6mm, downmount
Schnittstellen
Analog voltage, I²C, RS485
Versorgungsspannung
22.8 - 25.2 V
Grösse (LxBxH)
102 x 45 x 20 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC6000D-5slm

SFC6000D-5slm

Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis, Vertriebsversion, 5 slm

Skalenendwert Durchflussrate
5 slm
Genauigkeit
0.2% FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Push-in 6mm, downmount
Schnittstellen
I²C, RS485
Versorgungsspannung
22.9 - 25.9 V
Grösse (LxBxH)
102 x 45 x 20 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC6000D-50slm

SFC6000D-50slm

Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis, Vertriebsversion 50 slm

Skalenendwert Durchflussrate
50 slm
Genauigkeit
0.2% FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, N₂, O₂, N₂O and Ar and CO₂ flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Push-in 6mm, downmount
Schnittstellen
I²C, RS485
Versorgungsspannung
22.8 - 25.2 V
Grösse (LxBxH)
102 x 45 x 20 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC6000D-20slm

SFC6000D-20slm

Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis, Vertriebsversion 20 slm

Skalenendwert Durchflussrate
20 slm
Genauigkeit
0.2% FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Push-in 6mm, downmount
Schnittstellen
I²C, RS485
Versorgungsspannung
22.8 - 25.2 V
Grösse (LxBxH)
102 x 45 x 20 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5500-50sccm

SFC5500-50sccm

Vielseitiger Massenflussregler, via online Distribution, 50sccm

Skalenendwert Durchflussrate
0.05 slm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Schnittstellen
Device net, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5500-2slm

SFC5500-2slm

Vielseitiger Massenflussregler, via online Distribution, 2 slm

Skalenendwert Durchflussrate
2 slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
Maximaler Betriebsdruck
8 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Schnittstellen
Device net, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5500-200slm

SFC5500-200slm

Vielseitiger Massenflussregler via online Distribution, 200 slm

Skalenendwert Durchflussrate
200 slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, O2 and N2 flow
Maximaler Betriebsdruck
5 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Schnittstellen
Device net, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
135 x 24.6 x 91 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5500-10slm

SFC5500-10slm

Vielseitiger Massenflussregler via online Distribution, 10 slm

Skalenendwert Durchflussrate
10 slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
Maximaler Betriebsdruck
5 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Schnittstellen
Device net, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
115 x 24.6 x 91 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5500-0.5slm

SFC5500-0.5slm

Vielseitiger Massenflussregler, via online Distribution, 0.5 slm

Skalenendwert Durchflussrate
0.5 slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
Maximaler Betriebsdruck
5 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Schnittstellen
Device net, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
115 x 24.6 x 91 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5460

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

Skalenendwert Durchflussrate
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
Maximaler Betriebsdruck
5 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Schnittstellen
RS485
Versorgungsspannung
14 - 26 V
Grösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5400

SFC5400

Vielseitiger Massenflussregler

Skalenendwert Durchflussrate
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
Maximaler Betriebsdruck
5 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Schnittstellen
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
SFC5330

SFC5330

Kleiner MFC für kostensensible OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen

Skalenendwert Durchflussrate
1, 2 and 5 slm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
Maximaler Betriebsdruck
10 bar
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
Schnittstellen
RS485
Versorgungsspannung
14 - 26.4 V
Grösse (LxBxH)
34 x 25 x 62.2 mm
  • Sensor
  • Massenflussregler
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