Massenflussregler für Gase
Dank unserer langjährigen Erfahrung im Bereich der industriellen Automation und Medizintechnik kann Sensirion Ihre Geräte, Maschinen und Prozesse mit optimalen Lösungen unterstützen. Eine schnelle und genaue Steuerung von Gasflüssen über einen weiten dynamischen Messbereich ist mit Sensirions Massenflussregler garantiert.
Die Massenflussregler basieren auf der einzigartigen und innovativen CMOSens® Technologie. Das Herzstück jedes Durchflussreglers ist dabei ein kalorimetrischer Mikrosensor (MEMS), der zusammen mit der kompletten Signalaufbereitung auf einem einzigen winzigen Chip integriert ist. Während die Durchflussströmung mit einem thermischen Messprinzip gemessen wird, wird eine effiziente Regelung des Flusses durch eine analoge Steuerschaltung ermöglicht. Diese einzigartige technologische Integration garantiert eine ausgezeichnet gute Leistung und Zuverlässigkeit zu einem sehr attraktiven Preis.
Produkte
Schaffen Sie sich einen Überblick über Sensirons Massenflussregler für Gase
SFC5400 | SFC5300 | |||||||
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Flow range | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2, 5, 10 slm | 20, 50, 100 slm | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2, 5, 10 slm | |||||
Repeatability | 0.1% s.p./FS | 0.2% s.p./FS | 0.2% s.p./FS | |||||
Accuracy | 0.8% s.p./FS | 1% s.p./FS | 2% s.p./FS | |||||
External leak rate | 9 x 10-9 mbar l/s (He) | 10 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | |||||
Leak rate through closed valve | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | |||||
Pressure drop at max full scale | < 2 bar | < 3 bar | < 2 bar | < 0.1 bar | ||||
Settling time for OEM/typ. | 50 ms/100ms | 50 ms/100ms | ||||||
Control range | 1000:1 (digital interface) | 1000:1 (digital interface) | ||||||
Communication interface | digital (RS485, IO-Link, DeviceNet), analog (0 to 5 VDC, 0 to 10 VDC or 4 to 20 mA) | digital (RS485) | ||||||
Real gas calibration | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||||||
Gas conversion | SF6, C4F8 and other gases on request | SF6, C4F8 and other gases on request | ||||||
Nominal power supply | 14.0 to 26.0 VDC | 14.0 to 26.0 VDC | ||||||
Electric connector | D-Sub, 9 Pin | D-Sub, 9 Pin | ||||||
Mounting, gas connection | Downmount, Swagelok, VCR, VCO, W-Seal | Downmount | ||||||
Max working pressure | 10 bar | 10 bar | ||||||
Operation temperature | 0 to 50°C / 32 to 122°F | 0 to 50°C / 32 to 122°F |
Kundenspezifische Lösungen

Unsere hochmoderne Sensortechnologie kombiniert mit unserer langjährigen Erfahrung als Lösungsanbieter ermöglicht es uns, leistungsstarke Gasflussregelungssysteme mit kundenspezifischen Sensoren und Reglern zu unterstützen. Unser Ziel ist es, ein tiefes Verständnis für die Anforderungen unserer Kunden zu entwickeln, das dann die Grundlage für eine maßgeschneiderte Lösung bildet. Unsere OEM-Sensorlösungen werden an Ihre spezifischen Anforderungen angepasst oder neu entwickelt. Mit unserer Technologie haben wir die Flexibilität, sowohl hohe Leistung als auch Kosteneffizienz zu gewährleisten. Erfahren Sie hier mehr.
Einfache Evaluation mit dem EK-F5x

Das EK-F5x Evaluation Kit ist ein einfaches Test-Set zur Evaluation und Qualifikation der Sensirion Massenflussregler der Serie SFC5x. Präzise Messungen zu Testzwecken können mit diesem einfach zu bedienenden Kit schnell und kostengünstig durchgeführt werden. Das Test-Kit besteht aus einem RS485 Interface, einem USB Stick mit Adapterkabel, einer 100/240 V AC Spannungsversorgung, sowie dem Massenflussregler SFC5400 von Sensirion. Erfahren Sie mehr.
Was wir anbieten
1. Expertise
- Spezialisiertes und erfahrenes Verkaufsteam
- Weltweite Präsenz und ein globales Distributionsnetzwerk
2. Schnelle und einfache Produktevaluation
- Umfassendes Produktportfolio
- Evaluationskits zur einfachen Messung von Feuchte während der Sensorevaluation
- Technische Dokumente: Datenblätter, Sample-Code, Application-Notes
3. Kundenspezifische Lösungen
- Massenflussmesser mit sehr geringem Druckabfall
- Verschiedene Flussraten und Gase (Multigas-Option)
- Einweg-Sensorlösungen
- Kostengünstige Lösungen für Massenflussmesser
Erfahren Sie mehr über unser kundenspezifischen Sensorlösungen.
4. Design-in-Unterstützung
- Unterstützung bei der Integration von SHT-Sensoren in Ihre Applikation
- Bewährte Vorgehensweisen, um die Integration des Sensors in Ihr Produktionskonzept zu gewährleisten

5. Lebenslanger Support
- Zuverlässige und flexible Produktion
- Nachhaltige Produktinnovationen, um auch Ihre künftigen Bedürfnisse abzudecken
CMOSens® Technologie
Grundlage all unserer Sensorprodukte bildet die einzigartige CMOSens® Technologie, welche Sensorelement und Auswertelektronik auf einem einzigen Chip vereint. Dies ermöglicht nicht nur eine hochgenaue und zuverlässige Messung von Massenfluss, sondern auch eine herausragende Langzeitstabilität unserer Produkte.
Erfahren Sie mehr über die innovative CMOSens® Technologie und ihre Vorteile bezüglich der Messung von Massenfluss.
Märkte

Medizintechnik
Sensirion steht für innovative Produkte, kundenspezifische Lösungen und den bestmöglichen Support. Wir wissen, auf was es in Ihrem Markt ankommt, um konkurrenzfähig zu sein, denn nur die besten Produkte garantieren einen langfristigen Erfolg.

Industrieautomatisierung
Mit unserer Erfahrung in der Industrieautomatisierung können wir Sie mit bestmöglichen Lösungen für Ihre Geräte, Maschinen und Prozesse unterstützen. Mehr Informationen über unsere Kompetenzen in der Industrie und weitere wichtige Punkte finden Sie hier.