Massenflussregler SFC5500
High performance off the shelf - der weltweit erste via Katalogvertrieb erhältliche Massenflussregler
Der Massenflussregler der Serie SFC5500 ist der Höhepunkt der 20-jährigen Erfolgsgeschichte von Sensirion in der hochpräzisen Gasdurchflussreglung. Der Sensor basiert auf dem mikrothermischen Messprinzip sowie der bewährten CMOSens® MEMS-Technologie von Sensirion. Das Ergebnis ist ein kompromissloser Massenflussregler mit erstklassiger Leistung und hoher Zuverlässigkeit, der anders als die meisten Geräte auf dem Markt keine Driftprobleme verursacht und im laufenden Betrieb nicht nachkalibriert werden muss.
Dank des vergleichsweise hohen Regelbereichs, den der CMOSens® MEMS-Durchflusssensor ermöglicht, kann die SFC5500-Serie mehrere Durchflussbereiche eines traditionellen Massenflussreglers mit einem einzigen Gerät abdecken. In Verbindung mit der Kalibration für unterschiedliche Gase und den austauschbaren Steckanschlüssen sind Massenflussregler der Serie SFC5500 die ersten Geräte auf dem Markt, die in Standardausführung erhältlich sind und sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignen. Dank dieser Vielseitigkeit ist die Serie SFC5500 auch die erste weltweit, die über Katalogdistributoren erhältlich ist.
Unter den ausgezeichneten Massenflussreglern von Sensirion komplettiert die Serie SFC5500 die Modulfamilie SFC5xxx. Sie bietet die gleich hohe Leistung wie die SFC5400-Serie und eignet sich deshalb für ein breites Anwendungsspektrum in Medizin, Analytik und Industrie. Anders als die hochgradig konfigurierbare SFC5400-Serie sind die Massenflussregler der SFC5500-Serie in mehreren vorkonfigurierten Standardvarianten erhältlich. Für andere Gase, Durchflussbereiche, Anschlüsse und Schnittstellen ist eventuell die Serie SFC5400 oder SFC5300, die kostengünstigste OEM-Lösung von Sensirion, besser geeignet.
Die digitalen Massenflussregler der Serie SFC5500
SFC550-0.5slm: Durchflussbereich: 0.5 bis 0.0005 slm
SFC5500-10slm: Durchflussbereich: 10 bis 0.01 slm
SFC5500-200slm: Durchflussbereich: 200 bis 0.2 slm
Leistungsmerkmale
- Hervorragende Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit (0.8 bzw. 0.1 % des Sollwerts)
- Sehr hoher Regelbereich (besser als 1000:1)
- Äusserst schnelle Antwortzeit (<100 ms)
- G ¼″-Flansch, der mit einer Vielzahl von Anschlüssen kompatibel ist, u. a. Swagelok, Legris, Festo
- Für mehrere Gase kalibriert (Luft, N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar CO2)
- Digitale Schnittstelle mit temperaturkompensiertem Ausgang
- Evaluationskit EK-F5x für schnelles und einfaches Testen
- Rückführbare Kalibrierung gemäss NIST
- Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF): 169 Jahre
- Keine Driftprobleme und kein Nachkalibrieren im laufenden Betrieb
Anwendungen
- Analyseinstrumente (z. B. Gaschromatografie, Massenspektrometrie, thermische Analysen)
- Bioreaktoren
- Medizintechnik (z. B. Beatmung, Anästhesie)
- Prozesssteuerung und Industrieautomatisierung (z. B. Beschichtung, thermische Verfahren)
- Chemie-, Kunststoff- und Glasindustrie
- Halbleiterindustrie (z. B. Plasmaätzverfahren, Dünnfilmbeschichtung)
Gasmischung
Sensorevaluation
Für schnelle und einfache Tests ist ein Evaluationskit verfügbar. Mithilfe der bereitgestellten Software lässt sich eine Plug-and-Play-Verbindung zwischen dem Sensor und einem Computer herstellen. Das Evaluationskit EK-F5x können Sie bei unseren Vertriebspartnern bestellen (der Massenflussregler muss separat eingekauft werden). Um den Einstieg in das Sensirion Evaluationskit zu erleichtern, stehen eine Kurzanleitung und ein Tutorial-Video zur Verfügung.
Mass Flow Controllers SFC5500: Introduction and Quick Start Guide
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