Massenflussregler SFC3000 (Not Recommended for New Designs)
Not Recommended for New Designs (NRND)
Der Massenflussregler SFC3000 wurde ersetzt durch den Massenflussregler SFC5300.
Der SFC5300 basiert auf der neuen Chipgeneration und hat dadurch eine bessere Performance und neue Funktionalitäten.
Der SFC3000 ist nur noch für bestehende Kunden erhältlich, um sie in der laufenden Produktion zu unterstützen.
Der digitale Massenflussregler SFC3000 ermöglicht eine schnelle und präzise Steuerung von Gasflüssen über einen weiten Durchflussbereich hinweg. Seine ausgesprochen hohe Genauigkeit und schnelle Einschwingzeit resultieren aus der innovativen CMOSens® Technologie. Das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal wird dabei direkt auf dem Chip zu einem Signal konvertiert, das im digitalen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Des Weiteren können unterschiedliche Gastypen und Kontrollbereiche kalibriert und per Software umgeschaltet werden.
Der kleine SFC3000 bietet sich vor allem für hochvolumige OEM Anwendungen an. Er besticht durch hohe Stabilität und Wiederholgenauigkeit und eignet sich besonders für den Einsatz in analytischen Instrumenten.
Leistungsmerkmale
- Herausragendes Preis-/Leistungsverhältnis dank einzigartiger CMOSens® Technologie
- Auf verschiedenste Gase und Bereiche einstellbar
- Sehr hohe Regelungsgeschwindigkeit (settling time <100ms)
- Weiter Regelungsbereich (1:1000)
- Hohe Stabilität bei der Durchflusssteuerung
- Digitale RS485 Schnittstelle § Herstellung gemäss dem zertifizierten Qualitätskontrollsystem nach Norm ISO 9001
- Robustes chemisches inert Gehäuse
Anwendungen
- Analytische Instrumente (z.B. Gaschromatografie, Spektrometrie)
- Medizinische Anwendungen (z.B. Beatmung, Anästhesie)
- Industrielle Prozessautomation (z.B. Beschichtungsprozesse, thermische Prozesstechnik)
- Halbleiterindustrie (z.B. Plasmaätzungsprozesse, Dünnschichtverfahren)
