Massenflussmesser SFM5400
Vielseitiger Massenflussregler für diverse Anwendungen
Der Massenflussmesser SFM5400 misst Massenfluss mit hoher Genauigkeit (Fehler < 1%), Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit und besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich. Der SFM5400 ist aus Metall gefertigt und hochgradig konfigurierbar. Er ist mit unterschiedlichsten fluidischen Anschlüssen und verschiedenen Schnittstellen erhältlich und misst maximale Flussraten zwischen 50 sccm und 200 slm. Das Sensorsignal wird direkt auf dem Chip in ein digitales, vollständig kalibriertes und temperaturkompensiertes Signal umgewandelt. Es können mehrere Gaskalibration auf einem Flussmesser hinterlegt werden. Zusätzlich kann das Gerät überprüfen, ob die aktivierte Gaskalibration zum real vorhandenen Gas passt. Die Vielseitigkeit macht den SFM5400 zur idealen Lösung für Anwendungen in der Industrie und Medizin.
Die herausragende Leistung der Massenmessers SFM5400 basiert auf der innovativen CMOSens® Technologie, die das hochpräzise Sensorelement zusammen mit der analogen und digitalen Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so dieser langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussmesser.
Der Massenflussmesser SFM5400 ist die ventillose Version des Massenflussreglers SFC5400. Der Massenflussregler SFC5400 verfügt über dieselben Leistungsmerkmale wie der Massenflussmesser und kommt in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Die beiden Sensorprodukte SFM5400 und SFC5400 lassen sich ideal kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFC5400 Website.
Leistungsmerkmale
- Höchste Genauigkeit bei kleinen Flussraten (< 1 sccm)
- Exzellente Genauigkeit/Wiederholbarkeit (0.8% / 0.1% von Messwert)
- Grosser dynamischer Messbereich (Turndown-Verhältnis 1000:1)
- Mehrere Gaskalibrationen auf einem Flussmesser mit zusätzlicher Gaserkennung
- Digitale und analoge Schnittstellen
- Flexible mechanische Anschlüsse (Down Mount, VCR und VCO, Swagelok, C-/W-Seal, etc.)
- Hohe Konfigurierbarkeit
- MTBF von 169 Jahren - keine Rekalibraiton notwendig
Anwendungen
- Analytische Instrumente (z.B. Gaschromatografie, Spektrometrie, Thermische Analyse)
- Medizinische Anwendungen (z.B. Beatmung, Anästhesie)
- Industrielle Prozessautomation (z.B. Beschichtungsprozesse, thermische Prozesstechnik)
- Halbleiterindustrie (z.B. Plasmaätzprozesse, Dünnschichtverfahren)
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