Massenflussmesser SLQ-QT500

Vielseitiger Massenflussmesser für Durchflussraten von bis zu 120ml/min und hochviskose Flüssigkeiten

Der Massenflussmesser SLQ-QT500 bietet einen Messbereich von bis zu 120 ml/min für wasser- oder kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Alkohole, Lösungsmittel, Öle, Brennstoffe oder Klebstoffe. Für Flüssigkeiten von hoher Viskosität ist dieser Sensor Ihre erste Wahl. In Kombination mit einem SCC1-Sensorkabel lässt sich der SLQ-QT500 einfach in anspruchsvolle Beschichtungssysteme in der Halbleiterindustrie, aber auch in eine breite Palette von Dosier- und Flüssigkeitssystemen in anderen Bereichen integrieren.

Dank schneller Messungen und hoher Sensitivität eröffnen sich neue Möglichkeiten für die Überwachung und Steuerung schneller Dosierprozesse. Der Sensor ist mit einer Kalibrierung für H2O und Isopropanol (IPA) erhältlich. Aufgrund des mikrothermischen Messprinzips und des grossen Innendurchmessers ist die Messleistung des SLQ-QT500 nicht von der Viskosität selbst abhängig, sodass keine strikten Ober- oder Untergrenzen für die Viskosität bestehen (z. B. kinematische Viskositäten von bis zu ~1000 mm2/s). Der Sensor ist zudem ideal für Flüssigkeiten geeignet, die kleine Partikel enthalten. Einzige Voraussetzung ist, dass diese Partikel keinen Abrieb an der Quarzglaskappilare bewirken.

Als benetzte Teile kommen nur PFA-Schläuche als fluidischer Anschluss und Quarzglas für den Durchflusskanal zum Einsatz. Wie alle anderen Massenflussmesser von Sensirion verfügt dieser zuverlässige Sensor über keinerlei bewegliche Teile und misst den Durchfluss durch die Wand des geraden Flusskanals hindurch.

In Kombination mit den SCC1—Sensorkabeln stellt der SLQ-QT500 eine modulare Lösung zur Verfügung mit einer passenden elektrischen Schnittstelle für fast jedes Umfeld:

SCC1-USB Sensorkabel zur Nutzung im Labor und anderen Testumgebungen bietet eine Plug-und-Play-Verbindung zum PC, um entweder die Viewer-Software von Sensirion oder eigene Auswertungsprogramme nutzen zu können.
SCC1-RS485 Sensorkabel für anspruchsvolle Umgebungen in der Industrieautomatisierung, mit einer stabilen RS485-Schnittstelle und erweiterten Funktionen wie Totalisierung von Dosiervolumen, automatischer Dosierungsdetektion und Datenpuffer zum asynchronen Auslesen der Daten.
SCC1-Analog Sensorkabel für eine einfache und schnelle Datenanzeige ohne Programmieraufwand oder für die Integration in generische Controllersysteme. Neben einem analogen Spannungsausgang von 0-10 V ist mit dem Kabel auch ein konfigurierbares digitales Ausgangssignal (high/low) möglich, das als Massenflussindikator oder als Pulsausgang programmiert werden kann.

Leistungsmerkmale

Maximale Durchflussrate für wasser- und kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten: 120 ml/min

Für Flüssigkeiten von hoher und niedriger Viskosität sowie für Flüssigkeiten mit kleinen Partikeln

Schnelle Antwortzeit von bis zu 50 ms

Höchste Sensitivität, auch bei niedrigsten Durchflussraten

Spannungsausgang: RS485, USB, oder 0-10 V analog

Gerader Flusskanal, keine beweglichen Teile

Garantierte Reinheit

Herausragende chemische Beständigkeit

Inerte benetzte Materialien: PFA und Quarzglas

Maximal empfohlener Betriebsdruck: 12 bar

Anwendungen

Anspruchsvolle Prozesssteuerung in der Halbleiterindustrie

Hochviskose Anwendungen

Industrieautomation

Schnelle Dosierprozesse

Download Center

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Exkurs: Viskosität

Die Viskosität einer Flüssigkeit beschreibt deren "Dicke" bzw. den Widerstand gegenüber einer von aussen wirkenden Kraft. Zu den Flüssigkeiten mit niedriger Viskosität gehören Äther, Aceton, Benzin und Wasser (kinematische Viskosität ≤ 1,0 mm²/s). Flüssigkeiten von mittlerer Viskosität sind typischerweise Motorenöle, Pflanzenöle, Propylenglykol oder Fotolacke. Beispiele für Flüssigkeiten, die eine hohe Viskosität aufweisen, sind Fett, Honig, hochviskoser Fotolack und Klebstoffe. Die Viskosität einer Flüssigkeit ist in der Regel stark von deren Temperatur abhängig. Obwohl die Messleistung des Massenflussmessers SLQ-QT500 unabhängig von der Viskosität selbst ist, wird das Sensorsignal vom Flussprofil im Inneren des Flusskanals beeinflusst. Das Flussprofil wiederum ist in hohem Masse von der Viskosität abhängig. Bei Flüssigkeiten von niedriger Viskosität wird die Durchflussrate von Strömungseffekten am Einlass (z. B. Veränderungen des Schlauchdurchmessers, Biegungen in der Zuleitung) oder von Turbulenzen begrenzt. Bei hochviskosen Flüssigkeiten wird die Durchflussrate vom zulässigen Druckabfall im System begrenzt. Die entsprechende Grenze variiert je nach Anwendung stark.

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