Massenflussmesser SLQ-QT105
Für Anwendungen in der Halbleiterindustrie
Der SLQ-QT105 misst Flussraten bis zu 120 ml/min und ist ein auf Beschichtungssysteme zugeschnittener Massenflussmesser für kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Fotolacke und Lösungsmittel.
Basierend auf Sensirions thermischem Messprinzip eignet sich der SLQ-QT105 insbesondere für tiefe Flussraten unterhalb von 120 ml/min und setzt neue Standards in Bezug auf Sensitivität, Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit. Die kurzen Antwortzeiten erlauben ein genaue Erfassung von hochdynamischen Prozessen wie z.B. schnelle Dosierungvorgänge. Der SLQ-QT105 ist mit Anschlüssen für 4x3 mm PFA Schläuche ausgerüstet und misst, ohne bewegliche Teile entlang des Flusspfads, durch die Wand des geraden Flusskanals hindurch. Die digitale RS485 Schnittstelle ist busfähig und ermöglich stabile Kommunikation über lange Distanzen.
Für Anwendungen mit wasserbasierten oder hochviskosen Flüssigkeiten bei Flussraten bis zu 120 ml/min, sehen Sie sich bitte unseren Massenflussmesser SLQ-QT500 an.
Leistungsmerkmale
- Maximale Flussrate für kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten: 120 ml/min
- Kalibriert für Fotolacke und Lösungsmittel
- Höchste Sensitivität bis hinunter zu tiefsten Flussraten
- Schnelle Antwortzeiten (bis 30 ms)
- Digitale RS485 Schnittstelle, USB oder 0-10 V analoges Spannungsausgangsignal
- Hohe chemische Beständigkeit
- Inerte benetzte Materialien: PCTFE, PFA und Quartzglas
- Gewährleistete Reinheit
- Gerader Flusskanal, keine beweglichen Teile
- Maximaler Arbeitsdruck: 3 bar (höhere Drücke sind auf Anfrage möglich)
Anwendungen
- High-end Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie
- Dispensierung von Fotolacken
- Schnelle Dosierprozesse
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