气体质量流量计 SFM3100
针对呼吸类应用的模拟质量流量传感器
模拟质量流量计SFM3100测量准确且快速。SFM3100设计紧凑，可以很容易地集成到现有设备中。流量计的气体通道中有一个温度传感器, 有助于实现高精度温度补偿，不再需要集成专用温度传感器。
SFM3100可测量-24 - 240 slm之间的流量。可检测负流量，使其能以可靠的方式识别错误或受阻碍流动。同时，它对多种气体进行了精确的补偿。流量和信号特性可根据需求定制以满足客户特定需求。
像所有Sensirion传感器一样，模拟质量流量传感器基于专利CMOSens® 技术， 在一个微芯片上集成了传感元件和数据处理电路。该技术造就了一个适合要求苛刻和成本敏感应用的高度稳定且精确的传感器系统。SFM3100特别适合呼吸类产品的吸气端，以及高精度空氧混合的应用。
性能参数
- 流量范围：-24 - 240 slm
- 精度5% m.v.（典型值）
- 超快速响应时间
- 低压降< 16mbar @ 200slm（典型值）
- 集成了温度传感器
- 紧凑的设计，易于集成
- 气体补偿
- 错误及流量不畅检测
- 定制的流量和信号特性
- 模拟输出
- 完全校准和温度补偿
