气体质量流量控制器
气体质量流量控制器
Sensirion气体质量流量控制器在宽动态范围快速而精确控制气体流量。得益于创新的Sensirion®技术，质量流量控制器的核心是热式微传感器（MEMS），芯片上集成了完整的信号处理电路。流量测量采用热式原理，高效控制由模拟控制电路实现。这种独特的集成技术以有吸引力的成本实现卓越的性能和可靠性。
產品
Sensirion 氣體質量流量控制器概覽
| SFC5400 | SFC5300 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Flow range | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2, 5, 10 slm | 20, 50, 100 slm | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2, 5, 10 slm | |||||
| Repeatability | 0.1% s.p./FS | 0.2% s.p./FS | 0.2% s.p./FS | |||||
| Accuracy | 0.8% s.p./FS | 1% s.p./FS | 2% s.p./FS | |||||
| External leak rate | 9 x 10-9 mbar l/s (He) | 10 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | |||||
Leak rate through closed valve | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | |||||
| Pressure drop at max full scale | < 2 bar | < 3 bar | < 2 bar | < 0.1 bar | ||||
Settling time for OEM/typ. | 50 ms/100ms | 50 ms/100ms | ||||||
Control range | 1000:1 (digital interface) | 1000:1 (digital interface) | ||||||
| Communication interface | digital (RS485, IO-Link, DeviceNet), analog (0 to 5 VDC, 0 to 10 VDC or 4 to 20 mA) | digital (RS485) | ||||||
| Real gas calibration | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||||||
| Gas conversion | SF6, C4F8 and other gases on request | SF6, C4F8 and other gases on request | ||||||
| Nominal power supply | 14.0 to 26.0 VDC | 14.0 to 26.0 VDC | ||||||
| Electric connector | D-Sub, 9 Pin | D-Sub, 9 Pin | ||||||
| Mounting, gas connection | Downmount, Swagelok, VCR, VCO, W-Seal | Downmount | ||||||
| Max working pressure | 10 bar | 10 bar | ||||||
| Operation temperature | 0 to 50°C / 32 to 122°F | 0 to 50°C / 32 to 122°F | ||||||
客製化解決方案
最新的感測器技術與我們作為解決方案供應商所累積的多年經驗相結合，助力我們透過客製化感測器及調節器來支援高性能氣體流量調節系統。我們的目標是深入了解客戶需求，藉此為客製化解決方案奠定基礎。我們調整或重新制定 OEM 感測器解決方案，以合乎您的特定要求。憑藉我們的技術，我們可靈活確保高性能及成本效率。按此了解詳細資訊。
使用 EK-F5x 進行簡單評估
EK-F5x评估套件是一个针对Sensirion SFC5400质量流量控制器评估和验证的简易测试套件。可用该简单易用工具快速精确测量。该评估套件包括一条RS485至USB电缆、一个100/240 V AC适配器、含一个PC软件的U盘，以及一个SFC5400系列的Sensirion质量流量控制器（流量计需单独采购）。
我们提供
1. 专业的首次接触
- 专业熟练的销售人员
- 世界范围的渠道网络
2. 快速简便的产品评估
- 体系完善的产品阵容
- 轻松评估传感器的评估工具
- 技术文档——规格书、样例代码、应用文档
3. 定制解决方案
- 低压损流量传感器
- 不同流量和各种气体（多气体选项）
- 一次性传感器解决方案
- 低成本流量传感器解决方案
阅读更多关于我们的定制传感器解决方案。
4. 设计导入支持
- 辅助您将Sensirion的传感器集成到您的应用中
- 经过验证的最佳方法可确保您的生产概念容纳SFMxx传感器的要求
5. 全寿命器支持
- 可靠灵活的生产
- 可持续性产品创新路线图满足您未来的需求
CMOSens®科技
我们的所有传感器产品均依赖独特的CMOSens® 技术，在单个芯片上集成了传感器元件和评估电路。实现质量流量精确可靠的测量，同时确保Sensirion产品具有卓越的长期稳定性。
了解更多关于创新CMOSens®技术及其为质量流量测量带来的优势。
市场
医疗
Sensirion深知只有最好的产品才具有竞争力且能长期生存。Sensirion致力于创新的产品、客户定制解决方案和最佳支持。
工业自动化
凭借Sensirion在工业自动化方面的经验，我们可以针对您的设备、机器和流程提供最佳解决方案。了解我们在工业领域及其他方面专业知识的更多信息。
