气体质量流量控制器
气体质量流量控制器
业界领先的交付周期
Senisirion是您的可靠合作伙伴，凭借我们前瞻式及以顾客为中心的供应链管理，交付周期得以保障。
多功能SFC5400适用于工业和医疗相关应用，多种配置满足您的确切需求。联系我们, 为您的应用找到契合的产品。SFC5500 系列现提供配有多气体校准的质量流量控制器。该系列可经我们的线上经销商购买，并享受隔日达服务。
Sensirion气体质量流量控制器在宽动态范围快速而精确控制气体流量。得益于创新的Sensirion®技术，质量流量控制器的核心是热式微传感器（MEMS），芯片上集成了完整的信号处理电路。流量测量采用热式原理，高效控制由模拟控制电路实现。这种独特的集成技术以有吸引力的成本实现卓越的性能和可靠性。
SFC5300适用于大批量应用
- 尺寸紧凑、较轻、配有数字接口，是SFC5400的简化版
- 专适用于成本敏感的大批量OEM项目
- 多种流量范围（50sccm至5sim）和多种气体校准
- 同时提供质量流量计
EK-F5X可用于简便、快速测试
- 针对SFC5X00质量流量控制器和SFM5X00质量流量计评估和验证的简单测试套件
- 使用该易于使用的套件进行快速精准测量，且节约成本费用
- 套件包括：1条RS485-USB连接线、1个100/240 V AC适配器、1个含PC软件的U盘、1本启动手册
Sensirion 氣體質量流量控制器概覽
| SFC5400 | SFM5400 | SFC5300 | SFM5300 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Flow range | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5,10 slm | 20, 50, 100 slm | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5,10 slm | 20, 50, 100 slm | 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5 slm | |
| Repeatability, % of reading | 0.1% s.p. | 0.2% s.p. | 0.1% s.p. | 0.2% s.p. | 0.2% s.p. | |
| Repeatability, % of full scale | 0.01% FS | 0.02% FS | 0.01% FS | 0.02% FS | 0.02% FS | |
| Accuracy, % of reading | 0.8% s.p. | 1% s.p. | 0.8% s.p. | 1% s.p. | 2% s.p. | |
| Accuracy, % of full scale | 0.08% FS | 0.1% FS | 0.08% FS | 0.1% FS | 0.2% FS | |
| External leak rate | 9 x 10-9 mbar l/s (He) | 10 x 10-6 mbar l/s (He) | 9 x 10-9 mbar l/s (He) | 10 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | |
| Leak rate through closed valve | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | not applicable for SFM | not applicable for SFM | 1 x 10-6 mbar l/s (He) | not applicable for SFM flow meter version |
| Pressure drop at max full scale | < 2 bar | < 3 bar | < 0.1 bar | < 1 bar | < 2 bar | < 0.1 bar |
| Settling time for OEM | 50 ms | not applicable for SFM flow meter version | 50 ms | not applicable for SFM flow meter version | ||
| Settling time, typical | 100 ms | not applicable for SFM flow meter version | 100 ms | not applicable for SFM flow meter version | ||
| Control range | 1000:1 (digital interface) | not applicable for SFM flow meter version | 1000:1 | not applicable for SFM flow meter version | ||
| Communication interface | digital(RS485, IO-Link, DeviceNet) and analog (0 to 5 VDC, 0 tp 10 VDC or 4 to 20 mA) | digital (RS485 & IO-Link) | ||||
| Real gas calibration | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | |||||
| Gas conversion | SF6, CF4, C4F8, NH3, N2O, CO, CH4, CH3F, Xe, Ne, Kr, and other gases on request | |||||
| Nominal power supply | 14.0 to 26.0 VDC | |||||
| Electric connector | D-Sub, 9 Pin | |||||
| Mounting, gas connector | Downmount, Swagelok, VCR, VCO, Legris, UNF Thread | Downmount | ||||
| Max working pressure | 10 bar | |||||
| Operation temperature | 0 to 50 °C/32 to 122 °F | |||||
| Gas type switchable by software | on request | |||||
定制化解决方案
作为解决方案供应商，我们将自身丰富经验与尖端传感器技术相结合，使我们能够支持客制化传感器和控制器的高性能气体流量控制系统。我们的目标是深入了解客户的要求，从而为打造量身定制的解决方案奠定基础。凭借出色技术，我们的客户受益于以下优势:
- 高速流量控制
- 灵活性和成本效益
- 低流量能力
- 尺寸紧凑、轻便
CMOSens®科技
我们的所有传感器产品均依赖独特的CMOSens® 技术，在单个芯片上集成了传感器元件和评估电路。实现质量流量精确可靠的测量，同时确保Sensirion产品具有卓越的长期稳定性。
了解更多关于创新CMOSens®技术及其为质量流量测量带来的优势。
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Sensirion深知只有最好的产品才具有竞争力且能长期生存。Sensirion致力于创新的产品、客户定制解决方案和最佳支持。
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