针对气体流量和压差的CMOSens®技术
全在一个芯片上
Sensirion的传感产品的核心是我们的创新CMOSens® 技术,它使我们在一个微小的CMOS硅芯片上组合传感器元件和信号处理电路。CMOSens® 传感器可提供无误差的气体流程测量,保持长期稳定,并生成快速、高精度的传感器信号。

热式测量原理
传感器元件
利用热式测量原理来确定质量流量。一个可调节加热元件位于压力稳定膜的中心,在气体流动方向膜的上、下游有一个温度传感器。膜上的每一个气体流动都会引起上下游温度传感器处的热量传递, 从而产生的温差,创建一个精确测量信号。微热式流量传感器通过蚀刻压力稳定膜集成在硅芯片上,膜有一个钝化玻璃层。CMOSens® 技术将这一微型传感器与整个高精度处理电路集成在一个微小的CMOS芯片上。

放大和模数转换器
与传感器元件距离不到一毫米,集成在同一芯片上的是一个模数转换器和一个信号放大器,这都有助于提高测量的精度,错误来源得以最小化,并消除了容易出错的焊点。这大大提高了信噪比,并降低了故障的风险。
温度和压力补偿
在同一芯片上有一个温度传感器,进行温度补偿。这实现了宽温度范围的高精度测量,而不需额外温度补偿。也消除了额外校正传感器的必要性,因此, Sensirion技术成为了有成本优势、节省空间的解决方案。
数字校准
除此之外,该芯片具有数字信号处理电路和一个存储校准数据的EEPROM存储单元。每个Sensirion制造的传感器都在生产过程中进行了单独校准。因此,传感器芯片所接收的信号总是经完全校准、线性化和温度补偿的。
数字通信
芯片上的信号处理电路还包括数字通信接口。它采用I2C协议,作为电路板上各个元件之间的通信标准。
气体质量补偿
Sensirion的热式燃气计量模块配备了气体识别。创新的、高科技算法可识别各种气体混合物,并为其进行补偿。尽管气体质量不同,气体质量补偿有助于准确和可靠的流量计量。
计量技术
基于上述热式计量原理,Sensirion为各种计量需求提供一系列产品。
压差测量
差压传感器中的压力连接器可以连接两个不同的空气或气体容积。在差压的情况下,由小型限流器限制的微小流量通过流道,并由传感器芯片进行测量。 Sensirion的压差传感器可取代传统膜式燃气表,提供高精度和高可靠性等诸多优点。
流量控制器
当加入具有快速控制算法的阀时,CMOSens® 技术非常适合控制气体流量。Sensirion的质量控制器具有非常快的控制速度和宽范围。
概述
综上所述,CMOSens® 技术可取代传统测量技术,提供众多优点,表现在速度和精度方面。
CMOSens® 技术的优点还包括:
- 长期稳定,无零点漂移
- 准确度和复现性(在宽动态范围)
- 快速响应
- 高度灵敏
- 可靠性和鲁棒性
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