针对气体流量和压差的CMOSens®技术

利用热式测量原理来确定质量流量。一个可调节加热元件位于压力稳定膜的中心，在气体流动方向膜的上、下游有一个温度传感器。膜上的每一个气体流动都会引起上下游温度传感器处的热量传递, 从而产生的温差，创建一个精确测量信号。微热式流量传感器通过蚀刻压力稳定膜集成在硅芯片上，膜有一个钝化玻璃层。CMOSens® 技术将这一微型传感器与整个高精度处理电路集成在一个微小的CMOS芯片上。

与传感器元件距离不到一毫米，集成在同一芯片上的是一个模数转换器和一个信号放大器，这都有助于提高测量的精度，错误来源得以最小化，并消除了容易出错的焊点。这大大提高了信噪比，并降低了故障的风险。

在同一芯片上有一个温度传感器，进行温度补偿。这实现了宽温度范围的高精度测量，而不需额外温度补偿。也消除了额外校正传感器的必要性，因此， Sensirion技术成为了有成本优势、节省空间的解决方案。

除此之外，该芯片具有数字信号处理电路和一个存储校准数据的EEPROM存储单元。每个Sensirion制造的传感器都在生产过程中进行了单独校准。因此，传感器芯片所接收的信号总是经完全校准、线性化和温度补偿的。

芯片上的信号处理电路还包括数字通信接口。它采用I2C协议，作为电路板上各个元件之间的通信标准。

Sensirion的热式燃气计量模块配备了气体识别。创新的、高科技算法可识别各种气体混合物，并为其进行补偿。尽管气体质量不同，气体质量补偿有助于准确和可靠的流量计量。

使用差压传感器

由于其计量原理，我们的压差传感器are highly 我们的差压传感器非常适合在旁路配置中测量气体流量。大多数产品是以旁路配置测量质量流量，其中的主流量一个直通通道，限流器迫使少量空气流过连接传感器的旁路通道。

使用流量传感器

传感器芯片也可放置在主流量通道，无需旁路。使用质量流量计的主要优点是测量低流量时的高灵敏度。

差压传感器中的压力连接器可以连接两个不同的空气或气体容积。在差压的情况下，由小型限流器限制的微小流量通过流道，并由传感器芯片进行测量。 Sensirion的压差传感器可取代传统膜式燃气表，提供高精度和高可靠性等诸多优点。

当加入具有快速控制算法的阀时，CMOSens® 技术非常适合控制气体流量。Sensirion的质量控制器具有非常快的控制速度和宽范围。