Massenflussregler

Alle CMOSens® Massenflussregler (MFC) gewährleisten schnelle und präzise Kontrolle von Gasflüssen über einen sehr weiten Bereich. Die Leistungsfähigkeit eines MFC hängt überwiegend vom verwendeten Massenflusssensor ab. Die herausragende Leistungsfähigkeit der Sensirion Massenflussregler basiert auf der unübertroffenen CMOSens® Sensor Technologie. Diese kombiniert einen hoch präzises Sensorelement mit Verstärker und A/D Konverter auf einem einzigen Chip.

Das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal wird direkt auf dem CMOSens® Chip zu einem Signal konvertiert, welches im digitalen oder analogen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Dies resultiert in einer ausgesprochen hohen Genauigkeit, einer sehr schnellen Einschwingzeit und einem grossen dynamischen Bereich.

CMOsens® Massenflussregler sind sehr geeignet für eine Vielzahl von Anwendungen wie Trockenätzen, Oberflächenbeschichten, Mischen und Analysieren von Gasen und vielen mehr.

Massenflussregler SFC3000
Der SFC3000 ist ein kleiner, digitaler Massenflussregler für hochvolumig OEM Anwendungen. Seine exzellente Stabilität und Wiederholgenauigkeit machen ihn ideal für analytische Instrumente. Unterschiedliche Gastypen und Kontrollbereiche können kalibriert und per Software umgeschaltet werden.

Massenflussregler SFC4000
Der SFC4000 ist ein extrem schneller, präziser und genauer Massenflussregler. Er verfügt über ein analoges Interface (0-5 V) und weist Standarddimension auf. Er lässt sich mit einer Versorgungsspannung von 14 bis 24 Vdc betreiben.