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Kundenspezifische Sensorlösungen für Flüssigkeitsdurchflüsse
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Sensirion fertigt CMOSens® Mikrosensoren in grösseren Stückzahlen. Durchfluss-Sensorlösungen für Flüssigkeiten mit Flussraten unter 80 ml/min bis hinunter in den Mikrofluidik-Sektor und Sub-Nanoliter-Auflösungen sind unsere einzigartige Stärke. Wir helfen für hochvolumige Anwendungen ein herausragendes Produkt zu entwickeln und produzieren Ihre massgeschneiderte Sensorlösung für Flüssigkeiten. Die mediengetrennt arbeitende Sensortechnologie basiert auf thermischen MEMS-Sensorelementen und wurde von Sensirion patentiert. Sensirion steht zur Verfügung um bestehende Produkte zu modifizieren. Es können aber auch vollständig neue Produkte entwickelt werden sofern eine gewisse Stückzahl benötigt wird.
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Planar packaging Technologie - Beispiel
einer möglichen Integration
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Die einzigartige CMOSens® planar packaging Technologie kann bei jährlichen Abnahmemengen ab 10’000 Stück zum Einsatz kommen. Dank innovativer Aufbau- und Verbindungstechnik sind damit Sensirions hochsensitive, thermische Sensor-Chips in der Lage, mediengetrennt durch die Wand des im Substrat verlaufenden Kanals hindurch zu messen (US Pat. 6813944). Dieses Prinzip erlaubt hochempfindliche Flussmessungen sowie Luftblasenerkennung im Mikroliterbereich. Ein kleiner, digitaler CMOSens® Mikrochip (2.2 x 3.5 mm) wird auf das mikrofuidische Substrat aufgebracht. Neben dem Sensorelement beinhaltet der Chip die komplette digitale Intelligenz sowie einen Speicher für die Linearisierung und Temperaturkompensation. Er stellt ferner ein vollständiges I²C Interface zur Verfügung und kann mit 2.8 bis 3.3 V betrieben werden. Flüssigkeits-Ein- und Auslass können bei Bedarf zur Unterseite hin ausgeführt werden, womit der Einsatz in Manifold-Systemen erleichtert wird. Die Sensoren zeigen Reaktionszeiten von lediglich ca. 40 ms und lassen sich mit Auflösungen bis hinunter zu 0.5 nl/min realisieren. |
Leistungsmerkmale
- Flussraten von nl/min bis zu 100 ml/min
- Vollständig mediengetrennte Messung
- Hohe Geschwindigkeit: 40 ms Antwortzeit
- Versorgungsspannung 2.8V - 3.3V
- Digitales I²C Interface
Unsere Kernkompetenzen für kundenspezifische Entwicklungen generell:
- Entwicklung Massenfertigung von MEMS-Sensorelementen
- Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Kalibration für hohe Stückzahlen
- Äusserst hohe Sensitivität (< 0.5 Nanoliter/min)
- Kurze Antwortzeiten (ms-Bereich)
- Geringe Baugrösse
- Mediengetrenntes Messverfahren
- Biokompatibilität und hohe chemische Beständigkeit
Mögliche Spezifikationen
Fluidisch: Beispiele
- Flüssigkeiten: H2O, Methanol, EtOH, ACN, ...
- Totvolumenfrei (gerade Kapillare)
- Absolutdruck: 0 ... 1000 bar
- Ansprechzeit: ms-Bereich
- Auflösung: bis zu 0.1 nano liter/min.
- Messbereich +/- nl ... ml/min. (bi-direktional)
- Temperaturbereich: -40 ...120 °C
Elektronik
- Interface: RS-232, RS-485, 4...20mA, I2C
- Spannungsversorgung: 3V ... 24V
- Ausfallsicherheit: Selbsttest, Autokompensation
- Leistungsaufnahme: < 100 micro Joule/Messung realisierbar!
Packaging
- Benetztes Material wahlweise Glas, Keramik, PEEK, Edelstahl
- Optionale Schutzarten IP54, IP65, IP67
- Einwegkomponenten auf Basis spezieller Sensorchips
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Kundenspezifisch Lösungen
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